大行程二维电动平移台扫描范围：840mm*840mm。

大行程二维电动平移台的最大有效负载：≥50Kg。

二维电动平移台的垂直度：≤50μm。

光源系统大行程二维电动平移台/主机系统大行程二维电动平移台/进料/出料一维电动平移台相互之间的平行度/垂直度：≤60μm。

主机宽*高*深：≤3400mm*2700mm*3000mm。

主机重量：≤2000Kg。