大行程透反镜测试系统

需求：

客户需要测试晶体入射和透射两种形式：入射角度15-78度及垂直入射，测量的角度为顺时针旋转15度到78度之间，重复定位精度要求优于0.01度。

方案：

晶体旋转：同轴非同动，手动+电动控制。晶体调整：采用自主研发大晶体微调及锁止机构。双Z轴控制系统保证晶体平稳运动。手动5轴微调保证激光器入射角无误。手动平移系统可以缩短光程保证精度。